Produkte

Unsere Softwarelösungen für die Halbleiterfertigung erfüllen höchste technische Anforderungen und können individuell an Ihre Bedürfnisse angepasst werden. Alle Konfigurationen werden individuell für Ihre Produktion eingerichtet.

Sie wählen die Module, die Ihren Anforderungen und Bedürfnissen entsprechen. Und wir kümmern uns um die Details. Neben der Einrichtung der Software, regelmäßigen Updates und Schulungen für Mitarbeiter bieten wir Ihnen 24×7 Support.

Bei der Entwicklung der Applikationen haben wir besonderen Wert auf Benutzerfreundlichkeit, Übersichtlichkeit und ein ansprechendes Design gelegt. Alle Module bieten eine individuelle, übersichtliche Benutzeroberfläche mit den jeweiligen Funktionen.

Die Lösung basiert auf einer strikten Plattformarchitektur. Dies ermöglicht die einfache und effektive Integration neuer Module. Dies können sowohl Module für APC als auch für andere Funktionalitäten sein. Über eine Oberfläche hat der Anwender homogenen Zugriff auf alle integrierten Module.

Logo litho apc
lithoAPC ist ein detailliertes Datenmanagement von Expositionen und Overlay-/Critical-Dimension-Analysedaten. Es ermöglicht eine detaillierte Nachvollziehbarkeit aller Ereignisse und Daten. Es gibt einen einzigartigen Ansatz zum Zusammenführen eingehender Daten und unterstützt alle Anwendungsfälle der Lithographie.

Dies sind die Module von lithoAPC:

modul Critical Dimension litho apc

modul Overlay litho apcmodul RuntoRun litho apcmodul Master Data litho apc


Die CMP-Erweiterung ist in den lithoApc-Server und den lithoApc-Desktop integriert.

Es erscheint als separate Plugins. Für reine CMP-Benutzer kann auch eine dedizierte Installation kombiniert werden, die nur die Dateien enthält, die nur für CMP benötigt werden.

Dies sind die Module von cmpAPC:
modul cmp apcmodul RuntoRun cmp apcmodul Master Data litho apc

Hier einige Impressionen von lithoAPC und cmpAPC