News
August 2021
Das nächste APC-Modul befindet sich in der Endphase der Entwicklung. Wir starten unseren Systemtest mit echten Daten. Auch hier hat die BlueLine APC Plattform gezeigt, dass die Integration neuer Prozesse mit geringem Entwicklungsaufwand und mit optimalen Ergebnissen gelingt. Natürlich mussten wir uns mit allen Sensoren (Messwerkzeugen) und dem Prozesswerkzeug selbst verbinden.
Der Datenfluss war wie immer einer der wichtigsten Schritte. Dieser Teil besteht aus der Dateneingabe, der Datenausgabe und der korrekten Zusammenführung mehrerer Datenteile. Der Merge-Schritt enthält oft prozessspezifische Funktionalität, die der entsprechenden Implementierung bedarf. Ein gängiges Beispiel ist das Send-a-Head-Handling (Pilot) in der Litho-Abteilung und der Rework-Flow.
Mit dem neuen APC-Modul unterstützt BlueLine nun die wichtigsten Halbleiterprozesse.
Februar 06, 2021
Diese Woche haben wir erfolgreich mehrere Kindergärten per VPN miteinander verbunden. Damit dann der Träger der Kindergärten von jedem Standort auf den zentralen Datenbestand zugreifen. Die Zielstellung war unter Beachtung der Kosten, die Stabilität und Übertragungsgeschwindigkeit des Systems. Wir haben dazu eine eigene BlueLine VPN Box entwickelt, die basierend auf OpenSource Software eine Verbindung aufbaut, die gegenüber Angriffen von Außen immun ist.
Dieser Verbund stellt die Grundlage der mehr als 200 Netzwerk-Geräte, Telefonanlagen und mehr als 100 Nutzer des Trägers. Die Wartung erfolgt fast ausschließlich als Fernwartung.
Januar 25, 2021
Die BlueLine AG startet die Entwicklung des nächsten großen APC-Moduls. Nachdem sich das Plattformkonzept bewährt hat, wird das nächste Prozessgebiet auf dieser Architektur adressiert. Geplant ist, Mitte 2021 mit dem Systemtest zu beginnen und im Frühherbst die Produktion aufzunehmen.
Gleichzeitig werden die bestehenden Module für Overlay, Critical Dimensions (lithoApc) und Polish (cmpApc) um neue Funktionen erweitert. Durch die Plattform und die einfache Erweiterbarkeit der APC-Lösung ergeben sich beste Synergieeffekte, von denen der Anwender direkt profitiert.
Dezember 2020
Zwei neue Module sind fertig und werden nun im Systemtest intensiv getestet. Das Modul IA (Internal Automation) unterstützt die verzögerte Verarbeitung eingehender Nachrichten. Dadurch kann der Prozess auch rückwirkend vollständig nachvollzogen werden. Diese Funktion ist sehr nützlich zum Testen, zur Unterstützung und zur Synchronisation von APC-Datenbanken.
Das DR-Modul (Data Removal) löscht alle Daten, die einen vordefinierten Zeitbereich verlassen. Dies hilft, das Datenvolumen und die Reaktionszeit der APC-Lösung konstant zu halten. Das Löschen erfolgt mit minimaler Belastung der Datenbank und ohne das Verhalten der APC-Lösung zu beeinflussen.
cmpApc wird veröffentlicht
Vor einigen Wochen wurde cmpAPC für die Produktion freigeschaltet.
Nach 10 Monaten harter Arbeit sind wir stolz zu sehen, dass dieses neue APC-Modul die Anforderungen einer Logic FAB im High-Mix/Low-Volume-Bereich vollständig erfüllt.
In den letzten Monaten haben wir bei den Tests bereits die vielversprechenden Prognosen gesehen – aber es macht einen Unterschied, ob man nur auf die Zahlen schaut oder ob man den Einfluss auf die Produktion beobachtet. Nun ist diese Frage beantwortet – die Unterstützung des CMP-Prozesses mit allen Facetten des Prozesses wird aufgezeigt.
cmpAPC ist jetzt ein vollwertiger Bestandteil der BlueLine APC Produktfamilie.